GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法

国家标准
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标准编号:GB/T 16594-1996

标准名称:微米级长度的扫描电镜测量方法

英文名称:Micron grade length measurement by SEM

发布日期:1996-11-04

实施日期:1997-04-01

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

上海市测试技术研究所

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