GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法

国家标准

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标准编号：GB/T 16594-1996

标准名称：微米级长度的扫描电镜测量方法

英文名称：Micron grade length measurement by SEM

发布日期：1996-11-04

实施日期：1997-04-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

上海市测试技术研究所

标准范围

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