GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

国家标准
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标准编号:GB/T 1558-1997

标准名称:硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

英文名称:Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

发布日期:1997-12-22

实施日期:1998-08-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

峨嵋半导体材料厂

标准范围

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