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GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
标准编号：GB/T 8758-2006
标准名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
英文名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
归口单位：中国有色金属工业协会
执行单位：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草人
王彤涵
起草单位
北京有色金属研究总院
标准范围
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。