GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

国家标准

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标准编号：GB/T 20307-2006

标准名称：纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

英文名称：General rules for nanometer-scale length measurement by SEM

发布日期：2006-07-19

实施日期：2007-02-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张训彪、曾荣树、廖宗廷、卢德生

中国科学院地质与地球物理研究所、中国科学院化学所、上海理工大学、同济大学、中国地质科学院矿产资源研究所

本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm～500nm的点或线的间距。