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GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
标准编号：GB/T 16945-2009
标准名称：电子工业用气体 氩
英文名称：Gas for electronic industry - Argon
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
赵俊秀、周鹏云
起草单位
北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
标准范围
u3000u3000本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 u3000u3000氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。