GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

国家标准

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标准编号：GB/T 6624-2009

标准名称：硅抛光片表面质量目测检验方法

英文名称：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

徐新华、王珍

上海合晶硅材料有限公司

u3000u3000本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 u3000u3000本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。