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GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
标准编号：GB/T 24580-2009
标准名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
马农农、何友琴、丁丽
起草单位
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准范围
本标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。本标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。