GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准编号：GB/T 15909-2009
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
英文名称：Gas for electronic industry - Silane
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
余京松、周鹏云
起草单位
浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院
标准范围
u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
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