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GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
标准编号：GB/T 26250-2010
标准名称：电子工业用气体 砷化氢
英文名称：Gases for electronic industry - Arsine
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛
起草单位
西南化工研究设计院、光明化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司
标准范围
本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。 分子式：AsH3。 相对分子质量：77．945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。