GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法

标准编号：GB/T 29190-2012

标准名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法

英文名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

发布日期：2012-12-31

实施日期：2013-06-01

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

起草人

黄文浩、陈宇航、褚家如、李家文、李源、傅云霞

起草单位

中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院

标准范围

本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。

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