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GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
标准编号：GB/T 29557-2013
标准名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
英文名称：Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
陈建、张训生、张卫红、盛世善、谢方艳、龚力
起草单位
中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学
标准范围
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。