GB/T 11446.1-2013 电子级水

标准编号：GB/T 11446.1-2013

标准名称：电子级水

英文名称：Electronic grade water

发布日期：2013-12-31

实施日期：2014-08-15

归口单位：工业和信息化部（电子）

执行单位：工业和信息化部（电子）

主管部门：工业和信息化部（电子）

起草人

褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所

标准范围

GB/T 11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。

标准文档截图