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GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
标准编号：GB/T 30860-2014
标准名称：太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
英文名称：Test methods for surface roughness and saw mark of silicon wafers for solar cells
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-04-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
徐自亮、任皓、孙燕、熊金杰、陈佳洵、李锐
起草单位
中国有色金属工业标准计量质量研究所、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、特变电工新疆新能源股份有限公司、连云港国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、有研半导体材料股份有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司
标准范围
本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）的表面粗糙度及切割线痕的接触式或非接触式轮廓测试方法。 本标准适用于通过线切工艺加工生产的单晶和多晶硅片。如果需要适用于其他产品，则需相关各方协商同意。