GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉

标准编号：GB/T 10067.410-2014

标准名称：电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉

英文名称：Basic specifications for electroheat installations―Part 410: Single crystal growing furnace

发布日期：2014-12-05

实施日期：2015-04-16

归口单位：全国工业电热设备标准化技术委员会

执行单位：全国工业电热设备标准化技术委员会

主管部门：中国电器工业协会

起草人

陈巨才、李留臣、朱琳、袁芳兰、束天和

起草单位

西安电炉研究所有限公司、西安理工晶科股份有限公司、国家电炉质量监督检验中心、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、陕西省电炉工程技术研究中心

标准范围

GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

标准文档截图