GB/T 12962-2015 硅单晶

标准编号：GB/T 12962-2015

标准名称：硅单晶

英文名称：Monocrystalline silicon

发布日期：2015-12-10

实施日期：2017-01-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

孙燕、张果虎、楼春兰、王飞尧、徐新华、杨素心、张雪囡、黄笑容、朱兴萍、何良恩、由佰玲、李丽妍

起草单位

有研新材料股份有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、万向硅峰电子股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、广东泰卓光电科技股份有限公司

标准范围

本标准规定了硅单晶的牌号及分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容等。 本标准适用于直拉法、悬浮区熔法（包括中子变掺杂和气相掺杂）制备的直径不大于200mm的硅单晶。产品主要用于制作半导体元器件。

标准文档截图