GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

标准编号：GB/T 34177-2017

标准名称：光刻用石英玻璃晶圆

英文名称：Quartz glass wafer for lithography

发布日期：2017-09-07

实施日期：2018-08-01

归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

执行单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

主管部门：中国建筑材料联合会

起草人

吴洁、王京侠、花宁、刘焕敏、张浩运、杨晓会、张应语、王友军、李弋舟、肖颂华、聂兰舰、杨学东、孔敏

起草单位

中国建材检验认证集团股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心、中建材衢州金格兰石英有限公司、中国建筑材料科学研究总院

标准范围

本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。

标准文档截图