GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

标准编号：GB/T 35309-2017

标准名称：用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

英文名称：Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies

发布日期：2017-12-29

实施日期：2018-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

王桃霞、刘晓霞、柳德发、胡伟、由佰玲、秦榕、耿全荣、鲁文锋、邱艳梅、银波、严大洲

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司

标准范围

本标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。

本标准适用于尺寸为600μm~3000μm的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照本标准执行。

标准文档截图