GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

国家标准

61浏览

标准编号：GB/T 4060-2018

标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

英文名称：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method

发布日期：2018-09-17

实施日期：2019-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

胡伟、刘晓霞、王桃霞、胡自强、万烨、杨旭、耿全荣、鲁文锋、宗冰、肖建忠

江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、峨嵋半导体材料研究所

本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。

本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为

0.01X10¹⁸cm^-3~5X10¹⁵cm^-3。