GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

标准编号：GB/T 37053-2018

标准名称：氮化镓外延片及衬底片通用规范

英文名称：General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

丁晓民、刘南柳、修向前、孙永健、潘尧波、徐科、王香、张国义

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥彩虹蓝光科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院

标准范围

本标准规定了氮化镓外延片（以下简称外延片）及氮化镓衬底片（以下简称衬底片）的通用规范，包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。

本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件，以及微波与电力电子功率器件。

标准文档截图