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GB/T 37385-2019 硅中氯离子含量的测定 离子色谱法
标准编号:GB/T 37385-2019
标准名称:硅中氯离子含量的测定 离子色谱法
英文名称:Test method for chloride content of silicon—Ion chromatography method
发布日期:2019-03-25
实施日期:2020-02-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草人
王桃霞、刘逸枫、耿全荣、梁博松、贾芬、张佳伟、邱艳梅、宗冰、刘晓霞、刘源君、鲁文锋、胡议允、陈飞、刘国霞、李素青
起草单位
江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、新特能源股份有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、有色金属技术经济研究院
标准范围
本标准规定了硅中氯离子含量的离子色谱测定方法。
本标准适用于测定棒状、块状、颗粒状和片状硅中x离子含量的测定。测定范围为1.0μg/g至硅中氯离子的最大固溶度。