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GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
标准编号：GB/T 38447-2020
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-07-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
张威、张亚婷、朱悦、石云波、周浩楠、陈得民、于振毅、陆学贵、李海斌、程逸轩
起草单位
北京大学、北京智芯传感科技有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、北京必创科技股份有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、中北大学
标准范围
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。
本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。