YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

有色金属行业标准
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标准编号:YS/T 1068-2015

标准名称:制备钌靶用钌粉

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

归口单位:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

谭志龙、郭俊梅、熊晓东等

起草单位

贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

标准范围

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。

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