标准编号：JB/T 4082-1991
标准名称：溅射离子泵技术条件
发布日期：1991-07-22
实施日期：1992-07-01
归口单位：
批准发布部门：机械电子工业部
u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。
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