T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

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标准编号：T/ICMTIA 2-2019

标准名称：集成电路用过氧化氢

英文名称：Hydrogen peroxide for Intergrated circuits

发布日期：2019-04-17

实施日期：2019-10-10

团体名称：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草人

刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平。

苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司。

本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。