T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢
标准编号:T/ICMTIA 2-2019
标准名称:集成电路用过氧化氢
英文名称:Hydrogen peroxide for Intergrated circuits
发布日期:2019-04-17
实施日期:2019-10-10
团体名称:中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草人
刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平。
起草单位
苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司。