T/CCGA 30003-2019 超纯三氟化氮
标准编号：T/CCGA 30003-2019
标准名称：超纯三氟化氮
英文名称：Ultra pure nitrogen trifluoride
发布日期：2019-10-29
实施日期：2020-01-29
团体名称：中国工业气体工业协会
起草人
郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳
起草单位
中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会
标准范围
本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。
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