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T/QDAS 070-2021 二极管扩散片硼扩散液态源配方
标准编号：T/QDAS 070-2021
标准名称：二极管扩散片硼扩散液态源配方
英文名称：Formula of boron diffusion liquid source fordiode diffuser
发布日期：2021-05-25
实施日期：2021-05-25
团体名称：青岛市标准化协会
起草人
李德鹏、张光展、徐海涛、程文娟、李宜涛、李中亮
起草单位
青岛金汇源电子有限公司、济南兰星电子有限公司、济南潼鑫电子有限公司
标准范围
本文件规定了二极管扩散片硼扩散液态源配方的术语和定义、试剂和材料、仪器和设备、三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制、硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制和硼扩散液态源配制等内容。
本文件适用于二极管扩散片硼扩散液态源的配制。