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T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
标准编号：T/CNIA 0060-2020
标准名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of phosphine content in hydrogen for polysilicon-Gas chromatographic method
发布日期：2020-05-27
实施日期：2020-08-01
团体名称：中国有色金属工业协会
起草人
刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明
起草单位
宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
标准范围
本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9~1×10-5（V/V）。