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DB53/T 618-2014 气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量
标准编号：DB53/T 618-2014
标准名称：气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量
发布日期：2014-08-28
实施日期：2014-12-01
起草人
张云晖、金波、亢若谷、白荣林、马启坤、徐远志、徐灵通、赵建为、杨红燕、于晓艳、左世芳、陶明、赵祖乔
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司
标准范围
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。
本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定。