T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法

标准编号：T/GVS 007-2022

标准名称：射频电源动态阻抗测试方法

英文名称：Test method for dynamic impedance of RF generator

发布日期：2022-07-11

实施日期：2022-07-11

团体名称：广东省真空学会

起草人

乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞

起草单位

深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司

标准范围

本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。

本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。

标准文档截图