T/BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范
标准编号：T/BEA 40002-2022
标准名称：微波ECR等离子体发生器校准规范
英文名称：Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator
发布日期：2022-01-18
实施日期：2022-02-09
团体名称：北京电子仪器行业协会
起草人
贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧
起草单位
北京东方计量测试研究所
标准范围
本规范规定了微波 ECR 等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的 处理。
本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
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