GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

标准编号：GB/T 25915.13-2022

标准名称：洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-07-01

归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

史苏娟、张秀春、李金平、刘俊杰、石小雷、冯昕、陈思源、周斌、余小彪、邵森、温晓辉、杨鹏举、张旋、仝娜杰、孙玉澄、童广才、郝胤博、左中杰、高正、胡茂从、黄吉辉、韩辉、刘璐、畅金学、史婷、刘震、刘永、杨云涛

起草单位

深圳市丽风净化工程有限公司、中电精泰电子工程有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、天津大学、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国建筑科学研究院有限公司、广东省洁净技术行业协会、中国合格评定国家认可中心、烟台宝源净化有限公司、江汉大学、南京工业大学、安徽同益净化科技有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、苏州市计量测试院、中国电子系统工程第四建设有限公司、中国电子工程设计院有限公司、中国标准化协会、筑安检验检测中心有限公司、上海市室内环境净化行业协会、北京中邦兴业科技有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、河南盛川净化工程有限公司、广东量化检测技术有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司

标准范围

本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面（外表面、内表面）。

本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度（SCP）和表面化学洁净度的化学物浓度（SCC）洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。

标准文档截图