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GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
标准编号:GB/T 42263-2022
标准名称:硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
英文名称:Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
发布日期:2022-12-30
实施日期:2023-04-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草人
马农农、何友琴、刘立娜、何烜坤、李素青、陈潇
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
标准范围
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3(0.2%)的硅单晶中氮含量的测定,测定范围不小于1×1014cm-3。