GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

国家标准
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标准编号:GB/T 42263-2022

标准名称:硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

英文名称:Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

发布日期:2022-12-30

实施日期:2023-04-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

马农农、何友琴、刘立娜、何烜坤、李素青、陈潇

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司

标准范围

本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。

本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3(0.2%)的硅单晶中氮含量的测定,测定范围不小于1×1014cm-3

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