GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

国家标准

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标准编号：GB/T 42271-2022

标准名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

英文名称：Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

彭同华、佘宗静、李素青、王波、刘立娜、王大军、张贺、杨建、袁松

北京天科合达半导体股份有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院有限责任公司

本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。

本文件适用于测量电阻率范围为1×10⁵Ω·cm~1×10¹²Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。