GB/T 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

标准编号：GB/T 42158-2023

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

英文名称：Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

发布日期：2023-03-17

实施日期：2023-07-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张硕、顾枫、俞骁、周再发、许百宏、许克宇、李根梓、沈俊杰、王敏锐、贾建国、王志远、刘志广

起草单位

苏州市质量和标准化院、苏州揽芯微纳科技有限公司、苏州市标准化协会、深圳市中图仪器股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、深圳市道格特科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、东南大学、美满芯盛（杭州）微电子有限公司、四川富生电器有限责任公司、中国合格评定国家认可中心

标准范围

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1μm~100μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5um~150um、深宽比为0.0067~20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100μm的立方体内。

本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

标准文档截图