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GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序
标准编号:GB/Z 42624-2023
标准名称:真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序
英文名称:Vacuum technology—Vacuum gauges—Procedures to measure and report outgassing rates
发布日期:2023-05-23
实施日期:2023-05-23
归口单位:全国真空技术标准化技术委员会
执行单位:全国真空技术标准化技术委员会
主管部门:中国机械工业联合会
起草人
孙立臣、赵月帅、成永军、赵澜、翁俊、倪博、言继春、言文静、潘颖、史纪军、钟亮、齐嘉东、喻新发、董猛、乔忠路、王玲玲、綦磊、袁翠平、孙雯君、肖寅枫、唐俊聪、何万飞、毕海林、孙立志、孟冬辉、刘兴悦、郭琦、汪力、张瑞芳、宋青竹
起草单位
北京卫星环境工程研究所、上海精密计量测试研究所、沈阳汇真真空技术有限公司、合肥工业大学、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一O研究所、重庆云海机械制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司
标准范围
在许多实际应用中,只需确定总放气率。如果使用了灵敏度与气体种类有关的测试仪器,则总放气率以等效氮气放气率的形式给出。如果总放气率很高,为了改进样品材料,存在需要辨别干扰气体的种类和测定其放气率的情况。本文件涵盖上述两种情况。
放气产生的一些分子能够被表面吸附且滞留时间远长于总测试时间。这些分子不在直接路径上时,也不能被测试仪器检测到。这可认为是一种表面效应,采用表面分析研究远比这里考虑的常规放气率测量更加行之有效。同时,受紫外光或X射线照射从表面释放的分子,也不适用于本文件。