GB/T 4937.27-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试 机器模型（MM）

标准编号：GB/T 4937.27-2023

标准名称：半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试 机器模型（MM）

英文名称：Semiconductor devices—Mechanical and climatic test methods—Part 27: Electrostatic discharge(ESD) sensitivity testing—Machine model(MM)

发布日期：2023-05-23

实施日期：2023-12-01

归口单位：全国半导体器件标准化技术委员会

执行单位：全国半导体器件标准化技术委员会

主管部门：工业和信息化部（电子）

起草人

迟雷、高金环、彭浩、张瑞霞、赵鹏、魏兵、王介、高蕾、辛长林、黄杰、何黎、刘洪刚、颜天宝

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、安徽高芯众科半导体有限公司、河北中电科航检测技术服务有限公司、广东省中绍宣标准化技术研究院有限公司、河北北芯半导体科技有限公司、武汉格物芯科技有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司

标准范围

本文件依据半导体器件对规定的机器模型（MM）静电放电（ESD）所造成损伤或退化的敏感度，建立了半导体器件ESD测试和分级的标准程序。本文件相对于人体模型ESD，用作一种可选的测试方法，目的是提供可靠、可重复的ESD测试结果，以此进行准确分级。

本文件适用于半导体器件，属于破坏性试验。

半导体器件的ESD测试从本文件、人体模型（HBM-见GB/T 4937.26）或GB/T 4937系列中的其他测试方法中选择。MM与HBM测试的结果相似但不完全相同。除另有规定外，HBM测试方法为所选方法。

标准文档截图