GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

标准编号：GB/T 42895-2023

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

英文名称：Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS

发布日期：2023-08-06

实施日期：2023-12-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张大成、杨芳、刘鹏、高程武、李凤阳、华璇卿、张彦秀、万蔡辛、张宾、张启心、李根梓、顾枫、于志恒、王旭峰、陈艺、刘若冰、武斌、曹万

起草单位

北京大学、中国电子技术标准化研究院、无锡韦感半导体有限公司、南京飞恩微电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司

标准范围

本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。

本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。

标准文档截图