GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

国家标准

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标准编号：GB/T 42789-2023

标准名称：硅片表面光泽度的测试方法

英文名称：Test method for gloss of silicon wafer

发布日期：2023-08-06

实施日期：2024-03-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

梁兴勃、李琴、潘金平、李素青、边永智、庄智慧、韩云霄、徐志群、王可胜、张海英、林松青、张雪囡、由佰玲、沈辉辉、焦二强、付明全、詹玉峰

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本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。

本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。