GB/T 43773-2024 电子气体 羰基硫

国家标准
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标准编号:GB/T 43773-2024

标准名称:电子气体 羰基硫

英文名称:Electronic gas—Carbonyl sulfide

发布日期:2024-03-15

实施日期:2024-10-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

曹素英、毛玉凤、郑梦杰、郑秋艳、黄斌斌、傅铸红、孙猛、廖恒易、郭琼、胡迎、阳辉、汪正宏、曹小林、方强、何晖、李春胜、张孛媛、朱明、马彬淇、方华、黄辉、王德发、唐中伟、史婉君、鲍光强、王见见、常侠、边鲁宁、王晶、杨扬仲夫、王立、梁永强、赖晓峰、周鹏云、汤萍、吴禹强、倪珊珊、蔡金、陈艳珊、金向华、李磊、孙福楠、牛艳东、刘丽娜、袁有录、杜大艳、尹爱华、王小波、齐婕、朱安民、王子源、金雪光、孙震、赵爽、尹冬梅、何波、宫兵、杨金山、魏王慧、郝萍、邵成刚、周鑫、赵洁、杨利、高静、张艺山、唐霞梅

起草单位

福建久策气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、三峡大学、兰州裕隆气体股份有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、浙江省计量与标准化学会、浙江中硝康鹏化学有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、上海市计量测试技术研究院、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、中国计量测试学会、浙江西亚特电子材料有限公司、和立气体(上海)有限公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、金宏气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、太和气体(荆州)有限公司、湖北和远气体股份有限公司、杭氧集团股份有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、浙江省标准化研究院、玉门大洋天庆石化有限责任公司、大连大特气体有限公司、中国计量科学研究院、浙江省化工研究院有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、哈尔滨黎明气体有限公司、空气化工产品(中国)投资有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司

标准范围

本文件规定了羰基硫的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。

本文件适用于一氧化碳与硫为原料合成制备的电子用羰基硫。

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