中关村集成电路材料产业技术创新联盟
T/ICMTIA BS0030-2022 集成电路材料产品分类
本文件规定了集成电路材料产品的分类。本文件适用于对集成电路材料产品进行管理和识别。
T/ICMTIA BS0029-2022 集成电路材料产品成熟度等级划分及定义
本文件规定了集成电路材料产品成熟度的定义、等级划分和条件、以及判定规则。本文件适用于集成电路材料产品成熟度的评价。
T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
本文件适用于集成电路用ArF光刻胶。
T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶
本文件适用于集成电路用ArF浸没式光刻胶。
T/ICMTIA 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。
T/ICMTIA 5.1-2020 集成电路用 ArF 干式光刻胶
本文件适用于集成电路用 ArF 干式光刻胶。
T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。
T/ICMTIA 3-2020 集成电路用六氯乙硅烷
本标准适用于以多晶硅副产六氯乙硅烷为原料提纯或化工合成的集成电路用六氯乙硅烷。集成电路用六氯乙硅烷主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜的低温低压沉积工艺中，也是优良的硅氧烷前驱和光学纤维原料。
T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢
本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。