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GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
标准编号：GB/T 13388-1992
标准名称：硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
英文名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
北京有色金属研究总院