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GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
标准编号：GB/T 14143-1993
标准名称：300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
英文名称：300～900μm Silicon slices--Measuring of interstitial oxygen content--Infrared absorption method
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：中国有色金属工业协会
执行单位：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草人
起草单位
机电部第四十六研究所