GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

国家标准

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标准编号：GB/T 1557-2006

标准名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

英文名称：The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

发布日期：2006-07-18

实施日期：2006-11-01

归口单位：中国有色金属工业协会

执行单位：中国有色金属工业协会

主管部门：中国有色金属工业协会

起草人

梁洪、覃锐兵、王炎

峨眉半导体材料厂

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω?cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×10的16次方at/cm3到硅中间隙氧的最大固溶度。