立即下载标准文件- GB/T 24534.4-2009 谷物与豆类隐蔽性昆虫感染的测定 第4部分：快速方法
- GB/T 24534.3-2009 谷物与豆类隐蔽性昆虫感染的测定 第3部分：基准方法
- GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
- GB/T 24534.2-2009 谷物与豆类隐蔽性昆虫感染的测定 第2部分：取样
- GB/T 24501.2-2009 小麦条锈病、吸浆虫防治技术规范 第2部分：小麦吸浆虫
- GB/T 6150.8-2009 钨精矿化学分析方法 钼量的测定 硫氰酸盐分光光度法
- GB/T 16484.8-2009 氯化稀土、碳酸轻稀土化学分析方法 第8部分：氧化钠量的测定 火焰原子吸收光谱法
- GB/T 18024.1-2009 煤矿机械技术文件用图形符号 第1部分：总则
- GB/T 10117-2009 高纯锑
- GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧
标准编号：GB/T 14604-2009
标准名称：电子工业用气体 氧
英文名称：Gas for electronic industry - Oxygen
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
周泽义、周鹏云
起草单位
中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
标准范围
u3000u3000本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。