GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法

国家标准

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标准编号：GB/T 1555-2009

标准名称：半导体单晶晶向测定方法

英文名称：Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

杨旭、何兰英

峨嵋半导体材料厂

u3000u3000本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 u3000u3000本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。