GB/T 12963-2009 硅多晶

标准编号：GB/T 12963-2009

标准名称：硅多晶

英文名称：Specification for polycrystalline silicon

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

罗莉萍、张辉坚、王炎

起草单位

峨眉半导体材料厂

标准范围

u3000u3000本标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。 u3000u3000本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。

标准文档截图