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GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
标准编号：GB/T 29556-2013
标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
英文名称：Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyser
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
王水菊、岑丹霞、刘芬、姚文清、李展平
起草单位
厦门爱劳德光电有限公司、中国科学院化学所、清华大学化学系
标准范围
本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测量方法。本标准适用于俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器的检测。