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GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
标准编号：GB/T 38446-2020
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-10-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
张威、李海斌、夏长奉、石云波、程红兵、周浩楠、张亚婷、朱悦、陈得民、马书嫏
起草单位
北京大学、北京智芯传感科技有限公司、中北大学、中机生产力促进中心、无锡华润上华科技有限公司、北京必创科技股份有限公司
标准范围
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。