YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

有色金属行业标准
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标准编号:YS/T 1053-2015

标准名称:电子薄膜用高纯钴靶材

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

归口单位:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

王学泽、李勇军、郑文翔等

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司,有研亿金新材料有限公司

标准范围

本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。

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