T/CCGA 30001-2019 超纯氨
标准编号：T/CCGA 30001-2019
标准名称：超纯氨
英文名称：Ultra pure ammonia
发布日期：2019-10-29
实施日期：2020-01-29
团体名称：中国工业气体工业协会
起草人
金向华、许军州、洑春干、魏入铎、庄坤华、宋芳芳
起草单位
苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会
标准范围
本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管(LED)行业的重要原材料。
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